+7 (495) 730-3619

Журнал «Физика и химия обработки материалов»

Новая статья «Исследование процессов на поверхности и в объеме материалов магнетрона в условиях термического и термоакустического воздействия на его корпус при откачке воздушной атмосферы» ведущих специалистов АО «Плутон» И.Ф. Ханбекова, В.С. Петрова, И.П. Ли, А.А. Полуниной, Д.Н. Локтева опубликована в №1 2020г. журнала «Физика и химия обработки материалов».

Представлена методика измерения относительного количества газа, удаленного из магнетрона при его откачке. Получены уравнения, описывающие три основные стадии газоотделения в процессе откачки. Разработанная методика проверена на модельных объектах и использована для определения относительного количества газа, откачиваемого на каждой стадии газоотделения из серийных магнетронов. Проанализирована эффективность откачки магнетрона при различных методах обезгаживания. Предложен способ ускорения десорбционно-диффузионных процессов при воздействии ультразвуковых колебаний на корпус магнетрона одновременно с его нагреванием во время откачки, повышающий эффективность газоотделения более чем в 2 раза.